氧气充填泵广泛应用在医疗、消防、航空、石化、冶金、船舶等使用气体场所，主要用于充填氧气呼吸器和压缩氧自救器高压储气瓶的气体增压泵。它是将大储气瓶中的氧气或其它非燃性气体升压充填到另一储气瓶内。可自动控制充填压力。
氧气充填泵用于充气的微型泵分为两类气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为氧气充填泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时客户更要特别注意。
氧气充填泵充气前，检查压力安全阀的兼容性或充气接头工作压力的兼容性和自动停机的正确性。这项工作在关闭充气阀并启动压缩机时进行。让空压机升起压力，压力表只有在压力超过压力保持阀的压力后才会显示出压力 (启动后大约1 分钟)。
近年来，由于政策支持力度的加大，以及氧气充填泵市场的复苏，中国氧气充填泵投资环境大大改善，大量资本进入中国氧气充填泵领域，海内外、多主体的联合投资成为氧气充填泵投资的主流形式。多主体指国企、社会、民营、港台、海外等企业参与到氧气充填泵行业投资中来。